基于透射电子显微镜TDX-200聚光镜的热应力分析
发布时间：2012/7/9 10:39:35 作者：童超1,2，崔益民1，王荣明1，方进2 来源：1.北京航空航天大学 微纳测控与低维物理教育部重点实验室，物理科学与核能工程学院，北京 100191；2.北京交通大学 电气工程学院，北京 100044 【字体：大 中 小】
透射电子显微镜的聚光镜的作用是将电子枪发射的电子束汇聚于试样平面上，并调节试样平面处束的孔径角、束的电流密度和照明斑点半径，因此聚光镜的设计与加工是电镜照明系统制造的关键部分。以我国自主设计的TDX-200透射电子显微镜的聚光镜为研究对象，采用有限元结构分析软件ANSYS对其进行热应力分析计算，为该类型的透射电子显微镜设计和制造提供可靠数据。
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